第50章 光刻机事件 (第2/4页)

学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别领域顶尖技术的产物。

    我们在很多领域的研究还不够深入，就单凭我们几个真的是太难了。

    目前来讲世界主流的光刻机的基本结构最关键的部件只有三个：光源发射器、用来调整光路和聚焦的光学镜头，以及放置硅晶圆的曝光台。

    第一个是光源，必须采用一种特殊的光源，也就是极紫外光，它的波长只有13.5纳米，是可见光波长的几十分之一。

    但是，极紫外光源很难制造。

    我们中科院其实研究这个光源已经有一段时间了，一直无法突破。

    第二个是光学镜头，高度精密的光学镜头是光刻机的核心部件之一，目前何兰、倭国、泡菜国，都是生产光学镜头的佼佼者。

    在这方面我们差距实在太大，一直都是依靠进口的，但是现在以星条旗国为首的几个国家从中作梗，我们的研究已陷入停滞。

    我举个例子，比如：何兰的asml自己不生产镜头，但是德意志的卡尔蔡司会专门为他们提供镜头。

    这种镜头有多精密呢？如果把镜头放大到一个地球那么大，它上面只允许有一根头发丝那样的凸起。

    第三个是对准，我们现在所要研制的芯片不是一次曝光就可以完成的，而是必须更换不同的掩膜，进行多次曝光。

    芯片的每个元器件之间只允许有几纳米的间隔。

    这就意味着，掩膜和硅晶圆每次对准的误差，也必须控制在纳米级别。曝光完一个区域之后，放置硅晶圆的曝光台必须快速移动，接着曝光下一个区域。

    要在快速移动中实现纳米级的对准，这个难度就相当于，你要从眨眼之间，端着一盘菜从北平故宫冲到魔都外滩，同时还要恰好踩到预定的脚